制造商:日本
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金屬電鍍工藝設備

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小型

小型晶圓電鍍系統
制造商:日本
主要功能:面向實驗開發的小型晶圓電鍍系統

  •        電鍍過程是金屬化的過程,通過全密閉單片式電鍍腔體,將電鍍液中的金屬離子電鍍到晶圓表面,以形成金屬互聯。導電電極會連接至晶圓,采用電鍍工藝沉積金屬至晶圓上圖案化的溝槽內而形成金屬層(又稱為金屬薄膜)中的金屬線,例如形成銅線,或者金線。
           此電鍍設備可運用于多種晶圓材料如Si、InP、GaAs、GaN、LiNbO3、SiC等,也可做電鍍Au、Cu、Ni、Sn、Ag等多種金屬的單層電鍍工藝。
           同樣適用于多種電鍍工藝,如凸塊,RDL,通孔,盲孔,深孔等工藝需求,擁有出色的均勻性。
           根據工藝需求,可提供配套的電鍍藥水。
           實驗型采用單CUP的電鍍槽體,屬于小型電鍍實驗設備,電鍍液的體積不足10升,有效地降低了實驗的成本。

  • 1,環狀電極和鍍液噴涌攪拌裝置,可以更好的保證電鍍均勻性,也可電鍍深孔深槽,Au、Cu、Ni、Sn、Ag等多種金屬。
    2,可滿足不同尺寸晶圓的電鍍需求,可支持2~8英寸,更換夾具方便快捷。
    3,可選配不同的鍍液,支持單層金屬沉積工藝。
    4,槽體及管路采用pump材質,可耐強酸堿。
    5,采用單CUP結構,手動上下料,可實驗多品種的快速切換。
    6,適用于研發型小批量多品種的工藝測試和生產。

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