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晶圓濕法處理

Parylene薄膜涂覆


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  • 藍寶石、SiC、SiO2、Si和高硬高脆等材料的切割
  • 晶圓的熱處理工藝，如晶圓合金化、注入退火和摻雜活化等
  • 智能化數控開帽


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