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一種用來做半導體測試探針的新合金“TK-FS”


作者:網(wǎng)站管理員 來源:本站原創(chuàng) 日期:2023/5/25 9:51:28 點擊:3013 屬于:行業(yè)新聞
一種用來做半導體測試探針的新合金“TK-FS”

      近日,日本田中貴金屬工業(yè)發(fā)表了一種新型合金材料TK-FS”,該材料在半導體制造的檢測工序中可以用做探針卡(probe card)及測試座(test socket)上的探針(probe pin)。所謂探針(probe pin),主要用于芯片設計驗證、晶圓測試、成品測試環(huán)節(jié),是連通芯片、晶圓與測試設備進行信號傳輸?shù)暮诵牧悴考?/span>,通過與測試機、分選機、探針臺配合使用,篩選出設計缺陷和制造缺陷產(chǎn)品,在確保產(chǎn)品良率、控制成本、指導芯片設計和工藝改進等方面具有重要價值。 對半導體產(chǎn)品的質量控制起重要作用。 其品質優(yōu)劣對半導體產(chǎn)品的測試效果、生產(chǎn)效率及生產(chǎn)成本控制都有重要影響。

 

      此前,該公司制造銷售的半導體封裝最終測試(后道工序)用的測試座上的彈簧針(pogo pin)類的探針主要是用鈀(Pd)族材料,而此次開發(fā)的新材料同時兼具了高硬度、低電阻率、高可彎曲性這三種性能,是以往材料無法同時達到的。

      “TK-FS”就是為了解決這一問題而誕生的。

 

      早在20227月該材料就已經(jīng)出了樣品,后來隨著研究的不斷深入,最終得出到了具有維氏硬度500以上、電阻率7.0μΩ?cm以下、10次以上反復彎曲的耐性這三種性能的材料。也因此,該材料可以用于各類探針,可以為半導體檢測設備延長使用壽命、降低成本。

 

田中貴金屬工業(yè)開發(fā)的TK-FS”產(chǎn)品的圖片

 

      此外,通過特有的加工技術,可以調整到400520的維氏硬度,還具有比該公司以往探針材料更高的伸展率(813%)。預計在2028年前實現(xiàn)兩倍于以往產(chǎn)品的“TK-FS”出貨量。


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